200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點(diǎn)

兼容ZT17_200℃半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器

●搭載200℃高溫測(cè)量新開發(fā)的壓力傳感器元件，對(duì)應(yīng)200℃測(cè)量

●實(shí)現(xiàn)高精度的高溫測(cè)量溫度特性ZERO：±1.0%F.S.SPAN：±3.0%F.S.（溫度補(bǔ)償范圍15～200℃）

●將測(cè)量氣體的滯留抑制到最小限度，適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)

使用溫度范圍

運(yùn)用程序

支持超臨界清洗、氣化裝置等半導(dǎo)體制造工藝的高溫用途

通過適用于半導(dǎo)體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)

將測(cè)定氣體的滯留控制在最小限度。

日本naganokeiki長野計(jì)器半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17